7月1日消息，昨天有消息稱，ASML旗下所有的DUV光刻機(jī)，出口都要被經(jīng)過認(rèn)可才可以。

對于這樣的說法，也是引起了熱議，不過ASML給出了回應(yīng)。

ASML表示，出口管制條例只涉及部分最新DUV型號，包括TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。EUV光刻機(jī)在此前已經(jīng)受到限制，其他系統(tǒng)的發(fā)運(yùn)未受管控。

此外，ASML還表示，上述規(guī)定是在9月1日才生效，而他們已經(jīng)提交了許可申請。

所以，在上述時(shí)間之前發(fā)貨的DUV光刻機(jī)或不受影響，此前業(yè)內(nèi)猜測的TWINSCAN NXT:1980Di也不受影響。

在這之前，光刻機(jī)大廠ASML高管對外表示，半導(dǎo)體業(yè)只有通力合作，建立完全自主的產(chǎn)業(yè)鏈，即使并非不可能也會(huì)極其困難。